激光干涉儀

1D激光主要可以測量定位誤差和重復定位精度
3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）
5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動角
在選擇無線遙控傳感器的情況下，測量距離可長達45米（80米可選）。
可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性。
設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架。集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間
5D/6D激光干涉儀是API的所有產品，一次安裝能夠同時測量線性軸的六個誤差，包括1個位置度誤差、2個直線度誤差、3個角度誤差。在通常情況下需要數天時間進行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成，實際應用結果表明，節省時間可達80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。
測量儀配有自動氣壓、環境溫度補償器，自動校正環境變化對激光波長及長度測量的影響，測量儀還配有專門設計的多重數字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到非常小。 

準確的數據采集 實時的誤差測量確保了數據采集的正確性以及高精度的誤差分析；自動的數據采集技術，簡化了數據采集的過程。
儀器的溯源性 API公司XD系列激光干涉儀的各項參數（線性、直線度、角度）都是溯源到國家和國際標準上的。這些精度都經過美國國家標準局（NIST），中國計量科學研究院和德國PTB等機構的檢驗。
連續生產和方案 為了避免突然停機、停產、API公司為現代化的機加工車間提供測量解決方案，也就是方案。 長期以來，車間管理人員一直以1D激光測量系統來繪制機床誤差圖及進行校準。所以想要測量完整的21項參數，則需要進行21到24次單獨的安裝調試，而且每一軸的每一次測量都需要1-2小時時間，因此，整個機床的測量過程通常占用兩到三個工作日，這就使得機床長時間處于停工狀態，嚴重影響了車間的利潤率和生產能力。采用API公司XD Laser激光干涉儀就完全避免了上述缺陷，使得對機床的測量快捷、簡便。
XD Laser激光干涉儀的組成 XD Laser激光干涉儀是在LMS激光干涉儀的基礎上進行了改進。將控制箱集成到激光里頭，將原先的有線數據傳輸改成無線數據傳輸。因此，XD Laser激光干涉儀是有激光頭、傳感器、氣象站、筆記本電腦和連接整個系統的電纜組成。
攜帶方便，操作簡單 全套系統重量僅為15千克，可以裝入一個小型工具箱內。由于采用了緊湊型設計，XD Laser體積小，測量機床時無需使用三腳架。使測量基準與機床的加工基準保持一致，簡化了測量程序（免拆機床護罩）。集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間，提高了機床使用效率。

XL Laser激光干涉儀的具體應用

1. 在做不同軸向測量時，激光器不需重新裝配，只需插入90度反光鏡即可（見圖1,2,3），使測量過程更加簡便。
2. 測量坐標軸之間的垂直度時，只需要五角棱鏡代替90度反光鏡即可（見圖5,6）。
3. 該設備還可以方便的測量機床導軌的平行度、平板的平面度，旋轉工作臺的角度以及對角線測量等（見圖4,7,8,9）。
4. XD Laser激光干涉儀與角度儀配合使用（見圖10）。

XD激光干涉儀的特殊之處
?一次安裝可測6個參數 ?無線通訊系統 ?高集成設計締造的便攜性	?以太網連接 ?自動實時環境溫度補償 ?自帶濕度傳感器	?實時數據顯示 ?快速安裝調試 ?緊湊型激光頭設計

型號	XD-1D一維型		XD-3D三維型	XD-5D五維型				XD-6D六維型
功能	標準型	精密型		標準型	精密型			標準型	精密型
線性測量范圍（m）	45	40	45	45	40			45	40
線性精度（ppm）	0.5	0.2	0.5	0.5	0.2			0.5	0.2
直線度測量精度（un）	N/A	N/A	(2.0+0.4/m) 或2%顯示值	(1.0+0.2/m) 或1%顯示值	(0.5+0.1/m) 或1%顯示值			(1.0+0.2/m) 或1%顯示值	(0.5+0.1/m) 或1%顯示值
偏擺角和俯仰角精度（角秒）	N/A	N/A	N/A	(1.0+0.1/m) 或1%顯示值	(0.5+0.05/m) 或1%顯示值			(1.0+0.1/m) 或1%顯示值	(0.5+0.05/m) 或1%顯示值
滾動角測量精度（角秒）	N/A	N/A	N/A	N/A	N/A			1.0 或1%顯示值	0.5 或1%顯示值
垂直度測量精度（角秒）	N/A	N/A	（1.0+0.4/m）	（1.0+0.2/m）	（1.0+0.2/m）			（1.0+0.2/m）	（1.0+0.2/m）
材料溫度傳感器精度（℃）	0.1	0.1	0.1	0.1	0.1			0.1	0.1
空氣溫度傳感器精度（℃）	0.2	0.1	0.2	0.2	0.1			0.2	0.1
大氣壓力傳感器精度（mm Hg）	1.0	0.3	1.0	1.0	0.3			1.0	0.3