光譜儀又稱分光儀，以光電倍增管等光探測(cè)器測(cè)量譜線不同波長(zhǎng)位置強(qiáng)度的裝置。它由一個(gè)入射狹縫，一個(gè)色散系統(tǒng)，一個(gè)成像系統(tǒng)和一個(gè)或多個(gè)出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長(zhǎng)或波長(zhǎng)區(qū)域，并在選定的波長(zhǎng)上（或掃描某一波段）進(jìn)行強(qiáng)度測(cè)定。
德國(guó)菲希爾X射線熒光分析儀XDV-µ
XDV-μ型系列儀器是專為在很微小結(jié)構(gòu)上進(jìn)行高精度鍍層厚度測(cè)量和材料分析而設(shè)計(jì)的。該系列儀器均配備用于聚焦X射線束的多毛細(xì)管透鏡，光斑直徑（FWHM）可達(dá)10至60μm。短時(shí)間內(nèi)就可形成高強(qiáng)度聚焦射線。
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FISCHERSCOPE ® X-RAY XDAL X射線熒光測(cè)量?jī)x
要檢查的層越薄，檢測(cè)器的選擇就越重要。 FISCHERSCOPE?X-RAY XDAL?系列包含幾個(gè)不同的模型。 PIN檢測(cè)器可用于材料分析和涂層厚度測(cè)量。 如果需要超高精度分析，則硅漂移檢測(cè)器是很好的選擇。
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X-RAY 5000德國(guó)菲希爾合金分析/鍍層測(cè)量?jī)x
X-RAY 5000 系列儀器采用模塊化設(shè)計(jì)，可輕松集成到生產(chǎn)線中。例如，當(dāng)必須測(cè)量大尺寸底材（如錫板）上的鍍層時(shí)，X-RAY 5000 堪稱理想解決方案。根據(jù)底材和鍍層材料的不同，客戶可按需求選配X射線源、探測(cè)器以及基本濾片。
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